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洁净室综合利用洁净气流节能

时间:2019-04-22 23:16 点击:
综合利用洁净气流是属于洁净室特有的节能途径。 (1)串联利用:对于无尘粒影响的车间,将沽
综合利用洁净气流是属于洁净室特有的节能途径。
 (1)串联利用:对于无尘粒影响的车间,将沽净室按洁净度高低水平串联起来,然后由一个机组贯通送风,即最初的送风依次经过高级别至低级别的房间后再回到空调机组。如有空调要求每个房间分别设且空调器。如有局部排风,需选择适当位置和大小设置排风机,以便及时排风。
(2)交叉利用:对于既有以消除余热为主,净化要求不太高的房间,又有主要要求净化的房间,可以交叉利用洁净气流。此法多在生产片基、薄膜类产品的生产线中采用。该类洁净室为需要高温沽净空气的干燥道箱体工艺间。一般采用下送上回的做法,满足工艺要求。下送是指将室外空气或回风经适当净化降温后,从干燥箱处下送;下送风经净化和加热后再上回至干燥道内,这种经下送初步净化、加热后,再经上回后进一步净化,加热可减少大盘能耗,干燥道排出风,又可进行热回收,此法节能作用可达30%~40%。
 
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